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纳米级电容位移传感器的原理

纳米级电容位移传感器 电容位移传感器的原理是利用力学变化使电容器中其中的一个参数发生变化的方法实现信号的变化的。电容位移传感器由目标和探针两个传感板组成电容器。当电容器之间的距离发生改变时，电容器的电容量就会发生改变，使用适当的控制器就会测出两个传感板距离的变化。 纳米级电容位移传感器是非接触式位置测量系统。该系统由目标和探针两个传感板组成电容器。当电容器之间的距离发生改变时，电容器的电容量就会发生改变，使用适当的控制器就会测出两个传感板距离的变化。电容位移传感器拥有-的灵敏度分辨率可由于0.1nm，频带宽可达到10khz，直线性可到达0.02%。由于传感器是一种非接触式的精密测量系统，因此还拥有无摩擦，无迟滞等特点。

电容式测量原理是什么?

电容式测量原理特性: 采用电容式测量原理,需要洁净和干燥的环境，否则传感器探头和被测物体之间的物质介电常数的变化会影响测量结果。我们也任何时候，都尽量缩短探头到控制器之间的电缆长度。对于标准设备，配备前置放大器，电缆长度设定为1m，根据不同的模块选择，能到3m。如果配备外置放大器，探头到控制器之间的电缆长度可以达到20m。 电容位移传感器一般用于需要-精度的应用环境。他们被用于测量振动，振荡，膨胀，位移，挠度和形变等等测量任务。因此，电容式位移传感器经常被用作-。 型的电容位移，分辨率可以达到纳米级别。源于的温度稳定性，在剧烈的温度波动情况下，电容式传感器是理想的选择。

电涡流传感器测量原理根据法拉第电磁感应原理

电涡流传感器测量原理 根据法拉第电磁感应原理，块状金属导体置于变化的磁场中或在磁场中作切割磁力线运动时与金属是否块状无关，且切割不变化的磁场时无涡流，导体内将产生呈涡旋状的感应电流，此电流叫电涡流，以上现象称为电涡流效应。而根据电涡流效应制成的传感器称为电涡流式传感器。 前置器中高频振荡电流通过延伸电缆流入探头线圈，在探头头部的线圈中产生交变的磁场。当被测金属体靠近这一磁场，则在此金属表面产生感应电流，与此同时该电涡流场也产生一个方向与头部线圈方向相反的交变磁场，由于其反作用，使头部线圈高频电流的幅度和相位得到改变线圈的有效阻抗， 这一变化与金属体磁导率、电导率、线圈的几何形状、几何尺寸、电流频率以及头部线圈到金属导体表面的距离等参数有关。通常假定金属导体材质均匀且性能是线性和各项同性，则线圈和金属导体系统的物理性质可由金属导体的电导率б、磁导率ξ、尺寸因子τ、头部体线圈与金属导体表面的距离d、电流强度i和频率ω参数来描述。则线圈特征阻抗可用z=f(τ,ξ,б,d,i,ω)函数来表示。通常我们能做到控制τ,ξ,б,i,ω这几个参数在一定范围内不变，则线圈的特征阻抗z就成为距离d的单值函数，虽然它整个函数是一非线性的，其函数特征为“s”型曲线，但可以选取它近似为线性的一段。于此，通过前置器电子线路的处理，将线圈阻抗z的变化，即头部体线圈与金属导体的距离d的变化转化成电压或电流的变化。输出信号的大小随探头到被测体表面之间的间距而变化，电涡流传感器就是根据这一原理实现对金属物体的位移、振动等参数的测量。